Suuremahulises integraallülituse tootmises tuleb seda pärast iga etappi veega loputada. Kuna mikronitaseme mikrofabratsiooni teostamisel on vaja vältida kokkupuudet lisanditega, mis halvendavad pooljuhti toimimist, ja vältida lisandite sattumist gaasikanalisse. Selle eesmärgi saavutamiseks peab loputamiseks kasutatav vesi olema rangelt puhastatud ja valmistatud ultrapure veemasinaga.
Suuremahuliste integraallülituste tootmiseks vajalikku ülipuhast vett ei ole võimalik loodusest saada ning see peab olema valmistatud ülipuhta veemasina või muude meetoditega. Ultrapure vee rafineerimine jaguneb puhtaks veetöötluseks ja sekundaarseks puhta vee töötlemiseks. Üldiselt on Smart-S ultrapure veemasina poolt igale töökojale antava puhta vee tsentraliseeritud töötlemine puhas veepuhastus ja iga töökoja töötlus on sekundaarne puhas veepuhastus.
Ultrapure veemasina puhastatud veeallikas on linna kraanivesi, tööstusvesi, jõevesi, põhjavesi, kaevuvesi jne. Eeltöötlus, näiteks filtreerimine, peaks toimuma vastavalt veeallika ja vee laadile ning seejärel tuleks kasutada läbilaskvat membraani ja ioonvahetust. Membraan eemaldab peene suspensiooni ja selles lahustunud ained näiteks integraallülituste tootmiseks vajaliku vee kvaliteedi saamiseks. Ülipuhta veemasina valmistatud puhas vesi on juba väga puhas, kuid teisi aineid on väga lihtne lahustada. Seetõttu peate ladustamise ja transpordi ajal olema ettevaatlik, et mitte uuesti saastunud.
Tagamaks, et vee kvaliteet vastab täielikult nõuetele, on vaja rafineerimist kasutuskohas, st ultrapure veemasina sekundaarset puhast veetöötlust. Sekundaarsed puhta veepuhastusseadmed paigaldatakse ülipuhtasse ruumi või selle lähedale, kus toodetakse pooljuhtseadmeid. Sekundaarseks puhta vee töötlemiseks vajalik Smart-S ultrapure veemasin sisaldab ultraviolett-steriliseerimisseadet, regenereerimata kassett-ioonvahetusseadet, mikrofiltrit ja superfiltratsioonimembraanfiltrit jne, pärast sellist ranget ettevalmistust Saadud ultrapure vesi võib rahuldada nõudlust vee järele integraallülituste valmistamisel.
